演员刘明 我所刘明研究员获2008年度国家杰出青年科学基金资助
日前,2008年度国家杰出青年科学基金评审结果已经产生,微电子研究所刘明研究员申请的“纳米加工与新型半导体器件研究”获得国家杰出青年科学基金资助,资助期从2009年至2012年。这是我所在国家最高级别人才项目中取得的又一重大成果 。
国家杰出青年基金于1994年启动,其获得者多是国家范围内各个专业学术领域的顶尖学者,该项基金组织遴选资助人的重要指标之一是申请人的学术积累。该基金资助45周岁以下的优秀青年学者,申请者需在自然科学基础研究方面已取得国内外同行承认的突出的创新性成绩,或对本学科领域或相关学科领域的发展有重要的推动作用;在应用基础研究方面取得国内外同行承认的突出的创造性科技成果,或对国民经济与社会发展有较大影响。
作为国家面向全国科技界优秀人才的最高级别人才项目,国家杰出青年科学基金历来受到科技界和各大高校的极高关注。
刘明研究员长期致力于纳米加工及新型纳米电子器件的研究,近年来研究重点集中在top-down纳米加工技术、纳米电子器件和新一代非挥发存储器等方面。在纳米加工、有机器件、电路和新型存储器方面获得了一系列创新性的成果。
共发表论文150多篇,SCI收录论文26篇,被SCI引用共计159次,其中他引122次。主要的学术成绩包括: 研究成功了一种新的分层分剂量进行邻近效应校正电子束直写技术,制备出线宽0.2微米的声表面波器件,打破国外对第三代无线通信技术关键器件的垄断,并因此获得了2007年国家发明二等奖;在国内率先开发了纳米电子束加工的理论模拟和工艺模块,建立了一套完善的纳米加工技术规范;采用top-down的加工工艺和CMOS 兼容的结构,完全在国内研制成功SOI基单电子器件,其中库仑岛的最小尺寸为10nm;在国际上首次将有机材料的各向异性引入晶界捕获模型,首次采用软X射线曝光技术实现了256位分子存储器;在32nm技术节点以下的非挥发性存储器替代方案上,提出了利用金属掺杂的技术手段来提高阻变存储器(RRAM)性能和成品率的方法,这是国际上最早提出此概念的两个小组之一,并且得到国际研究热点的跟踪;在渐进型的非挥发性存储器替代方案上,着眼于纳米晶浮栅存储结构(Nano-Floating Gate),从器件结构出发分析了提高纳米晶浮栅器件性能的途径。
作为负责人和项目负责人,刘明研究员主持参与了863重点项目4项,国家973项目3项。
刘明研究员除了在本研究所的工作以外,还担任了很多学术任职,主要包括:中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事和2006-2007年度执行理事长;中国真空学会第六届理事;中国材料学会青年委员会常务理事;中国科学院半导体研究所半导体材料重点实验室学术委员会委员;中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室学术委员会委员;中国科学院物理所微加工实验室学术委员会副主任;江苏大学和安徽大学兼职教授;“纳米科学技术大系”编委会编委;“微纳技术著作丛书” 编委会编委。
刘明研究员的相关研究成果共荣获了国家和省部级奖励六项。主要包括:2005年、2007年两次获得国家科技发明二等奖,2003年、2004年两次获得北京市科技进步奖一等奖,2002年获得北京市科技进步奖二等奖,1999年获得教育部科技进步三等奖。同时她还获得中国科协颁发的荣誉证书、中国科学院巾帼建功先进个人、中国科学院微电子研究所“研究生喜爱的导师”等荣誉,并享受国务院政府特殊津贴。
